半導体(Semiconductor)フォトリソ装置プロセス開発エンジニアのサイトです
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半導体情報

  • 2024年2月24日

ムーアの法則とは?半導体産業が目指す集積回路の性能の発展!

半導体業界のプロセスの指標として挙げられるのは、『プロセスノードの微細化』です。 プロセスノードの微細化とは、半導体デバイス(大規模集積回路,IC)の性能の向上させながら、チップを小型化させるということです。 1965年に『Electronics(エ […]

  • 2024年2月24日

前工程と後工程のプロセスの違いは?半導体チップを出荷するまで

半導体チップを製造するプロセスは何十種類とあり、前工程や後工程と呼ばれるフローを、ウエハは何度も何度もプロセス装置で処理を受けます。 しかもチップの構造によって、プロセス装置の内容も異なり、各半導体メーカーの生産工場で保有している装置の種類・メカニズ […]

  • 2024年2月24日

循環型の生産プロセス!前工程のFEOLとBEOLの違いとは?

半導体を生産する工場をファブといい、多くのプロセス装置が設置されており、生産フローは主に『前工程』と『後工程』に分類されます。 シリコンウエハ上に、半導体チップ(集積回路)を製造する工程は、自動車や電子機器の組み立てのようなラインで進める方法ではあり […]

  • 2024年1月13日

エッチング選択比やオーバーエッチングはエッチングの重要指標!

エッチングとは、フォトリソグラフィでパターン化されたレジストを被膜とすることで、その下の絶縁膜層などの薄膜を削るプロセスです。 最先端のナノノードの集積回路を生産するプロセスで、チップの性能を決めると言っても過言ではないほど重要です。 エッチングプロ […]

  • 2024年1月9日

半導体産業の発展とムーアの法則に問題!チップ開発に制約が?

半導体業界が始まってから50年以上、ムーアの法則が掲載されてから半世紀の歴史を見てみると、『技術』『産業』『市場』各方面で半導体の成長・発展には『規則性』があることがわかりました。 またムーアの法則に沿って発展してきましたが、ついにここ数年でムーアの […]

  • 2024年1月2日

フォトマスクの製造方法!フォトマスクブランクでパターン転写!

リソグラフィ装置(露光機)で使用されるフォトマスクは、半導体チップ(IC)の回路パターンとなる『原版・原画』です! 露光機から照射される光が、マスクのパターンに沿ってウエハ上に塗布されたレジストに届き、レジストが化学反応することで回路パターンを形成す […]

  • 2024年1月2日

CMOS構造の半導体チップ!CMOS回路の製造プロセスの全貌とは

最も一般的な半導体チップであるCMOSの製造プロセスを理解すると、各プロセスの役割と達成するべき条件が明確に理解することができます。 今回は、このCMOS構造の半導体が工場でどのようなプロセスを経て製造されているのかについてご紹介していきます! まず […]

  • 2023年12月31日

ウエハを搬送するオープンカセット!FOUPやFOSBの種類の違い

ウエハを搬送するためのオープンカセットは、シリコンウエハの生産、ウエハ製造、工場間のウエハの保管、搬送、輸送、保護に使用されます。 ウエハキャリアには、ウエハ製造工場内でのウエハ搬送に使用されるFOUP、シリコンウエハ生産工場とウエハ製造工場間の搬送 […]

>現役の半導体製造装置のプロセスエンジニア

現役の半導体製造装置のプロセスエンジニア

皆様こんにちは。現在半導体業界の開発エンジニアとして、主にフォトリソ装置のプロセス開発をしています。自分の勉強のためでもあり、今までの経験や知識を皆様のお役に立てられれば嬉しいです。
私もプロセスについて勉強をしていた時は、ネットの資料や論文で勉強をしていました。あとの世代に簡単にわかりやすく伝えるためにも、詳しくわかりやすくお伝えしていきます。
もしもご質問があれば、ご気軽にお問い合わせください!

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