- 2023年11月22日
メタルコンタミはプロセス異常の大敵!金属汚染はどこから発生?
現在のベアシリコンウエハは非常にクリーンで、本体金属含有量や、表面金属含有量は厳しく基準が設けられています。 金属の汚染物のことを『メタルコンタミ(metallic Contamination)』と呼ばれ、半導体チップの大敵として存在しています。 半 […]
現在のベアシリコンウエハは非常にクリーンで、本体金属含有量や、表面金属含有量は厳しく基準が設けられています。 金属の汚染物のことを『メタルコンタミ(metallic Contamination)』と呼ばれ、半導体チップの大敵として存在しています。 半 […]
みなさん半導体チップが出来上がる工程をご存知でしょうか? どんなナノレベルの精密なチップであろうと、最初はウエハという主にシリコンでできた円盤から始まります。 シリコンウエハはほとんどの半導体チップを乗せるための単なる円盤のキャリア材料ですが、1枚の […]