- 2024年1月13日
エッチング選択比やオーバーエッチングはエッチングの重要指標!
エッチングとは、フォトリソグラフィでパターン化されたレジストを被膜とすることで、その下の絶縁膜層などの薄膜を削るプロセスです。 最先端のナノノードの集積回路を生産するプロセスで、チップの性能を決めると言っても過言ではないほど重要です。 エッチングプロ […]
エッチングとは、フォトリソグラフィでパターン化されたレジストを被膜とすることで、その下の絶縁膜層などの薄膜を削るプロセスです。 最先端のナノノードの集積回路を生産するプロセスで、チップの性能を決めると言っても過言ではないほど重要です。 エッチングプロ […]
半導体業界が始まってから50年以上、ムーアの法則が掲載されてから半世紀の歴史を見てみると、『技術』『産業』『市場』各方面で半導体の成長・発展には『規則性』があることがわかりました。 またムーアの法則に沿って発展してきましたが、ついにここ数年でムーアの […]
集積回路(Integrated Circuit,IC)と聞くと、馴染みはありませんが、普段の生活と切り離せないほどありふれた存在です! 例えば集積回路が使用されているものは以下のように多くあります。 集積回路が使われているものとは… コン […]
リソグラフィ装置(露光機)で使用されるフォトマスクは、半導体チップ(IC)の回路パターンとなる『原版・原画』です! 露光機から照射される光が、マスクのパターンに沿ってウエハ上に塗布されたレジストに届き、レジストが化学反応することで回路パターンを形成す […]
最も一般的な半導体チップであるCMOSの製造プロセスを理解すると、各プロセスの役割と達成するべき条件が明確に理解することができます。 今回は、このCMOS構造の半導体が工場でどのようなプロセスを経て製造されているのかについてご紹介していきます! まず […]