半導体(Semiconductor)フォトリソ装置プロセス開発エンジニアのサイトです
MONTH

2024年1月

  • 2024年1月13日

エッチング選択比やオーバーエッチングはエッチングの重要指標!

エッチングとは、フォトリソグラフィでパターン化されたレジストを被膜とすることで、その下の絶縁膜層などの薄膜を削るプロセスです。 最先端のナノノードの集積回路を生産するプロセスで、チップの性能を決めると言っても過言ではないほど重要です。 エッチングプロ […]

>現役の半導体製造装置のプロセスエンジニア

現役の半導体製造装置のプロセスエンジニア

皆様こんにちは。現在半導体業界の開発エンジニアとして、主にフォトリソ装置のプロセス開発をしています。自分の勉強のためでもあり、今までの経験や知識を皆様のお役に立てられれば嬉しいです。
私もプロセスについて勉強をしていた時は、ネットの資料や論文で勉強をしていました。あとの世代に簡単にわかりやすく伝えるためにも、詳しくわかりやすくお伝えしていきます。
もしもご質問があれば、ご気軽にお問い合わせください!

CTR IMG