- 2024年2月24日
窒化タンタル(TaN)の特徴とは?半導体チップのバリア層と絶縁膜
TaN膜(窒化タンタル)とは、タンタル(Ta)と窒素(N)の含有量に応じてさまざまな組成形態を持ちます。 一般的TaN膜(窒化タンタル)と言えば、以下のものを指します。 TaN膜(窒化タンタル)種類とは… TaN Ta2N Ta3N5 T […]
TaN膜(窒化タンタル)とは、タンタル(Ta)と窒素(N)の含有量に応じてさまざまな組成形態を持ちます。 一般的TaN膜(窒化タンタル)と言えば、以下のものを指します。 TaN膜(窒化タンタル)種類とは… TaN Ta2N Ta3N5 T […]